在電氣真空行業(yè)中，真空密封是電氣真空設(shè)備的關(guān)鍵。但如果密封后的電氣真空設(shè)備有輕微泄漏，則需要使用各種方法進(jìn)行泄漏檢測(cè)。找到泄漏部位后，然后堵塞該部位。目前常用的泄漏檢測(cè)方法是酒精泄漏檢測(cè)，酒精泄漏檢測(cè)方法難以找到泄漏部位，主要原因是鈦泵電源輸出電流顯示靈敏度太低（小滿程顯示50μA），儀表中無法顯示小電流變化，為了檢測(cè)微泄漏部位，往往需要幾個(gè)月，因此泄漏檢測(cè)效率很低。

本發(fā)明的目的是提供高靈敏度輸出電流顯示的鈦泵電源，高靈敏度輸出電流顯示的鈦泵電源。

主要特點(diǎn)是高壓開關(guān)穩(wěn)壓電源、電流取樣電路、計(jì)算放大器、量程轉(zhuǎn)換和負(fù)載電流指示，計(jì)算放大器一端有零調(diào)節(jié)器。

鈦泵檢漏器檢漏的一種方法，包括步驟包括步驟a）當(dāng)鈦泵泄漏檢測(cè)器處于工作狀態(tài)時(shí)，表示泄漏氣體分別噴射可疑泄漏位置；b）測(cè)量IAIR值和IHE值；c）找出△I值；d）計(jì)算泄漏率值。

鈦泵泄漏檢測(cè)儀工作時(shí)，還包括步驟a)去除鈦泵磁鐵；b)用空氣積累5分鐘；c)安裝磁鐵使鈦泵工作；d)測(cè)量IAir值；e)再次去除鈦泵磁鐵；

f)向可疑部位噴灑HE氣體；g)積累5分鐘；h)安裝磁鐵使鈦泵工作；i)測(cè)量IHE值；j)找出△I值；k)計(jì)算泄漏率值。